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中國據報一年整 5 部浸沒式 DUV，離追到 ASML 同攻克 EUV 仲有幾遠？

中國據報開始小規模生產國產浸沒式 DUV，今年目標只有 5 部，消息曝光後 ASML 同亞洲晶片股受壓。不過機台規格、可靠性、良率同客戶驗收全部未有公開，距離穩定商用以至掌握 EUV，仲有多重技術關口要過。